| 品名 |
型式 |
仕様 |
PDF |
DXF |
| Ø1"スパッタガン |
ASG-1 |
※オプション ダブルOリングアダプターを併せてご使用ください
カソードサイズ：Ø36
取付可能ターゲットサイズ：非磁性Ø1" /t5（※1） Max 磁性材Ø1" /t1 Max
※1 熱伝導率が低い材料の場合、3mm以下を推奨。（詳細はご相談下さい）
最大入力：100W(RF/DC)
入力コネクタ：N型
ガイドパイプ径：Ø19
冷却水：1L/min以上（Ø1/4" SWL継手）
ベーキング：≦150℃
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| Ø1"UHVスパッタガン |
ASG-1-UHV |
カソードサイズ：Ø36
取付可能ターゲットサイズ：非磁性Ø1" /t5（※1） Max 磁性材Ø1" /t1 Max
※1 熱伝導率が低い材料の場合、3mm以下を推奨。（詳細はご相談下さい）
最大入力：100W(RF/DC)
入力コネクタ：N型
取付フランジ：下記型式の通り
冷却水：1L/min以上（Ø1/4" SWL継手）
ベーキング：≦150℃
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*型式・バリエーション* |
型式：ASG-1[①～③] / ターゲット距離(120～300)
①-UHV/275：UHV標準ICF70
②-UHV/4S ：UHVシャッター付ICF114
③-UHV/4 ：UHVシャッター増設可能ICF114
その他特注品、お問い合わせください。
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| Ø2"スパッタガン |
ASG-2 |
※オプション ダブルOリングアダプターを併せてご使用ください
カソードサイズ：Ø63
取付可能ターゲットサイズ：非磁性Ø2" /t5 Max 磁性材Ø2" /t1 Max
最大入力：300W(RF/DC)
入力コネクタ：HN型
ガイドパイプ径：Ø19
冷却水：2L/min以上（Ø1/4" SWL継手）
ベーキング：≦150℃
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| Ø2"UHVスパッタガン |
ASG-2-UHV |
カソードサイズ：Ø63
取付可能ターゲットサイズ：非磁性Ø2" /t5 Max 磁性材Ø2" /t1 Max
最大入力：300W(RF/DC)
入力コネクタ：HN型
取付フランジ：下記型式の通り
冷却水：2L/min以上（Ø1/4" SWL継手）
ベーキング：≦150℃
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*型式・バリエーション* |
型式：ASG-2[①～③] / ターゲット距離(120～300)
①-UHV/4 ：UHV標準ICF114
②-UHV/6S ：UHVシャッター付ICF152
③-UHV/6 ：UHVシャッター増設可能ICF152
その他特注品、お問い合わせください。
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| Ø3"スパッタガン |
ASG-3 |
※オプション ダブルOリングアダプターを併せてご使用ください
カソードサイズ：Ø95
取付可能ターゲットサイズ：非磁性Ø3" /t5 Max 磁性材Ø3" /t1 Max
最大入力：500W(RF/DC)
入力コネクタ：HN型
ガイドパイプ径：Ø19
冷却水：2L/min以上（Ø1/4" SWL継手）
ベーキング：≦150℃
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| Ø3"UHVスパッタガン |
ASG-3-UHV |
カソードサイズ：Ø95
取付可能ターゲットサイズ：非磁性Ø3" /t5 Max 磁性材Ø3" /t1 Max
最大入力：500W(RF/DC)
入力コネクタ：HN型
取付フランジ：下記型式の通り
冷却水：2L/min以上（Ø1/4" SWL継手）
ベーキング：≦150℃
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*型式・バリエーション* |
型式：ASG-2[①～③] / ターゲット距離(120～300)
①-UHV/6 ：UHV標準ICF152
②-UHV/8S ：UHVシャッター付ICF203
③-UHV/8 ：UHVシャッター増設可能ICF203
その他特注品、お問い合わせください。
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